常用真空系統在真空電子器件中的運用

2012-06-21

常用真空系統在真空電子器件中的運用

真空電子器件生產中應用的真空系統種類繁多。這里將根據真空系統的工作壓強范圍，介紹一些典型結構的常用的真空系統。

中、低真空系統是能獲得10-3托以下真空度的系統，以旋片泵或吸附泵等為主泵，配以真空閥門、捕集器及管道等連接而成。這樣組成的系統抽速一般較小，如要提高抽速可選用滑閥真空泵或羅茨泵機組。中、低真空系統結構簡單、排氣量大，主要用在各類電子管的預排，白熾燈與熒光燈的排氣，真空儲存柜和離子戮射鍍膜機等裝置中。

中、低真空系統的真空度可用火花檢測器或放電管指示器來估計，也可用熱傳導真空計來測量。為了提高系統的工作真空度，減少旋片泵油蒸氣和系統中水蒸氣對真空系統的影響，在三通玻璃活塞上，側接一只外冷式液氮冷阱。帶液氮冷阱的真空系統工作真空度可以達到10-3托左右。若該系統要反復暴露大氣，采用活性氧化鋁擋油阱同樣能達到上述目的，不過活性氧化鋁要定期激活。

上海帕特泵業制造有限公司

2012年06月21日星期四

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5、UHB-ZK系列氟塑料砂漿泵 6、IH系列標準化工泵 7、IHF系列氟塑料離心泵 8、QBK系列氣動隔膜泵

9、ZX系列自吸泵 10、G型單螺桿泵 11、ZB3A型不銹鋼轉子泵 12、ZW系列自吸式排污泵

13、YW系列液下式排污泵 14、WQ系列潛水排污泵 15、ED臥式多級離心泵 16、CDL系列輕型立式多級泵

17、JWM機械隔膜計量泵 18、JYMZ液壓隔膜計量泵 19、J-W系列柱塞式計量泵 20、J-X系列柱塞式計量泵

21、QJ系列深井潛水泵 22、CQ系列磁力泵 23、ZCQ系列自吸磁力泵 24、CQB-F系列氟塑料磁力泵

25、2X系列旋片式真空泵 26、2BV系列水環式真空泵 27、2XZ系列真空泵 28、SK系列水環真空泵