電真空器件中排氣臺對真空系統的要求

2012-06-08

電真空器件中排氣臺對真空系統的要求

電真空器件的排氣是在排氣臺上進行的。對于微波管的排氣臺來說，根據烘箱的種類可以分為普通排氣臺(單真空排氣臺)和雙真空排氣臺;根據所能達到的真空度也可以分為高真空排氣臺和超高真空排氣臺。不論哪種排氣臺，一般都應該包括真空抽氣系統、真空測量裝置、加熱去氣設備、電源及控制機構等部分。

真空系統是排氣臺的核心部分，器件內部的空氣依賴真空系統抽走并達到一定真空度。真空系統由真空泵、連接管道、真空閥門以及輔助裝置等組成。

對真空系統的要求

對真空系統的一般要求是:

(1)真空度要求。對真空系統基本的要求就是能達到所需要的真空度，包括系統本身的極限真空度和被抽器件所能達到的真空度。一般來說，器件內部能達到的真空度低于系統的極限真空度，所以選擇排氣臺真空系統時，應該保證系統的極限真空度比器件所要求的真空度高。

系統的極限真空主要取決于真空泵的極限真空度，真空系統的密封性和去氣的徹底性。

(2)系統應該具有所需要的抽氣速率。抽速的大小決定了器件排氣的時間，提高抽速就可以縮短排氣時間，提高勞動生產率。金屬結構的微波管在排氣中會放出大量氣體，也必須有足夠的抽速及時把零件放出的氣體排走，減少其他零件再次吸附氣體和引起陰極中毒的可能。但是，抽速應與被抽器件的容積相適應，過大的抽速會增加設備成本以及水、電等消耗，相應增加器件的成本，造成浪費。

系統的抽速不僅取決于真空泵的抽速，還與系統的連接管道以及真空閥門等零件的導通能力有關。

(3)真空系統應該結構簡單、可靠，盡可能操作維護方便，希望噪聲低、無污染、成本低。

為了滿足上述要求，必須根據器件的大小、復雜程度、所用材料等實際情況，綜合考慮各方面的因素，合理選擇真空泵、真空計、真空閥門、真空管道以及其他裝置。

上海帕特泵業制造有限公司

2012年06月08日星期五

下面給大家介紹一下上海帕特泵業制造有限公司生產真空泵相關產品：

1、SK系列水環真空泵 2、2BV系列水環真空泵 3、2X系列旋片真空泵 4、XD系列真空泵

5、SZB懸臂式水環真空泵 6、2XZ系列水環真空泵 7、SZ系列水環真空泵 8、2SK系列水環真空泵