無油超高真空閥

2012-05-15

無油超高真空閥

常用的是金屬結構;低蒸氣壓的液態金屬閥門(多為玻璃制做)也仍然受到重視。對小口徑閥門(小于25毫米)，漏導已可小到10-14升/秒。

目前文獻登載的各式超高真空閥門已超過五十種。但按其原理歸納起來，大約可認作五種類型：

1.將軟金屬墊片壓在硬金屬的刀邊上；

2.將軟金屬錐壓入硬金屬孔內；

3一層軟金屬膜片或一個環狀帽壓在兩個硬表面之間；

4.將硬金屬端壓入軟金屬孔內或者把軟金屬壓于硬金屬面任意變形壓緊；

5.兩個硬面互相壓緊。

所說的硬金屬多為不銹鋼，也有用鎢鉻鈷合金、碳化鎢和藍寶石等做的。軟金屬多是無氧銅、純銀、純金，也有用鑰、錫、白金和鋁等。

這五種密封中只一種是用手動密封(漏導10-14升/秒)，其他則要很大的壓力才能保證密封。第五種密封所需壓力大，但它的抗腐蝕性能也好。第二種加壓力1噸/厘米2時，閥門密封漏導為10-11升/秒。第三種則在加壓達11噸/厘米2時，密封漏導才是10-14升/秒。

因金屬無油超高真空閥門種類很多，具體結構就不細舉了。它們共同的缺點是使用次數多了密封處會損壞，使漏導增加，加工和裝配也需十分精細，造價很高。所以玻璃制的液態金屬超高真空閥門至今仍為人們所重視，因為它除了能克服金屬閥那幾個缺點外，主要還是自己能制做，結構簡單。而且用這種閥門的原理也能制造大型金屬超高真空閥門，例如，利用450 ℃下的蒸氣壓為10-13托的純錫就可做成這種閥門。錫的熔點是232℃，只要加溫，用旋轉螺旋的方法升降閥帽，其通導能力有600升/秒(這點可因設計而異，可大可小)。

上海帕特泵業制造有限公司

2012年05月15日星期二

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