滑閥式真空泵的結構特點

2012-04-25

滑閥式真空泵的結構特點

與旋片泵相似，滑閥泵也設有氣鎮閥，氣鎮孔開在排氣口附近或端蓋上，以排出含有可凝性蒸汽的被抽氣體。在泵出口設置油氣分離器，以減少泵油的損耗和對環境的污染。
目前，滑閥泵有三種結構形式：
（a）滑閥桿鉸接在滑閥環上。
（b）滑閥桿與滑閥環做成一體。
（c）行星式滑閥泵。
行星式滑閥泵與體積和轉速相同的其他型式的滑閥泵相比，由于滑閥體尺寸較小，抽速較大。但由于滑閥桿擺動的幅度很大，這種結構只使用于小型泵。在實際產品中，均采用以滑閥桿與滑閥環做成一體的結構。

為減少滑閥不彭亨慣性力引起的振動，對于單缸單級泵，要在驅動輪對面一側加平衡輪，并在驅動輪上加不平衡質量進行平衡減振；雙缸滑閥泵為單級并聯，常用于中、小型泵，以降低極限壓力，該結構中，兩個滑閥長度比一般為2:1，相差180°設置，再在驅動輪上加上不平衡質量。

對三缸滑閥泵，有等長缸和不等長缸兩種型式，以不等長缸為常見。對于三缸滑閥泵，中間是一長缸，兩側各為等長短缸，長缸與短缸比為2:1，相差180°布置。中間滑閥產生的慣性力由兩側滑閥產生的相反方向的慣性力所平衡，因此，三缸滑閥泵的振動很小，無需將泵固定在地基上九可以正常工作了。

排氣閥是滑閥泵中的易損件，也是泵主要噪聲來源之一。在入口壓力較高時，排氣量較大，排氣閥硬閥板打開；在極限壓力時，只有少量的氣泡和泵油被排除，此時，硬閥板不動，由柔性閥板打開排氣。為防止油的返流，增加噪聲，柔性唇必須在0.01s時間內完成打開，關閉動作。

滑閥泵為排除可凝性蒸氣也設置了氣鎮閥。在極限壓力下，為減小泵油沖擊排氣閥產生的噪聲，也可以通過氣鎮閥向泵內放入少量干燥空氣。
泵油在華發泵中氣道潤滑和密封的作用。適當的設置油路是十分重要的，有時可采用油泵進行強制供油。在雙級泵中，泵油應先進入低真空側，經脫氣的泵油再進入高真空側，以便獲得更低的極限壓力。
在滑閥泵出口處應設置油霧捕集器，用以捕集和回收由排氣閥排除的混在被抽氣體中的油滴，既可以節省泵油，又可以減少對環境的污染。油霧捕集器一般有三級：第一級是碰撞罩，除去較大的油滴；第二十不銹鋼填料，收集小油滴；第三是燒結的比例纖維，捕集可見油霧。

上海帕特泵業制造有限公司

2012年4月25日星期三

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