上海帕特泵業介紹爪式真空泵

2012-04-23

上海帕特泵業介紹爪式真空泵

近年來真空技術的應用領域日趨廣泛，已擴展到整個工業。而在以半導體、電子工業為代表的制造工藝中，迫切要求無油污染的清潔真空。因被抽氣體往往含有腐蝕性蒸汽及磨損粒子，油封泵對此是無能為力的。因而近年來某些國家相繼研制出工作在大氣壓到0.1pa區域內的干式真空泵，以滿足干式工藝的要求。

干式真空泵有非接觸型的羅茨式、爪式、螺桿式、接觸型的葉片式、凸輪式、活塞式等。非接觸型可以高速旋轉，但壓縮比小。接觸型的轉速不能太高，但壓縮比大。尤其在大氣壓附近，因逆流量變大使后者的壓縮比為前者5-8倍。另外，干式真空泵的轉速越高，其壓縮比越大，所以干式真空泵的轉速多為3000r/min .從使用壽命、所能達到的壓縮比、轉速及動平衡性等方面考慮，采用多級爪式轉子串聯或羅茨轉子與多級爪型轉子串聯組合成干式真空泵。這種泵采用了形狀復雜的爪型轉子，它也類似羅茨泵型式，兩個轉子與泵體之間形成泵腔的抽氣容積，吸氣口和排氣口分別固定在兩側端蓋的側面上，有轉子在旋轉過程中自動開閉。目前有兩種結構型式，一種是三級爪型轉子加一級羅茨型轉子構成的多級泵，另一種是四級爪型轉子串聯構成的多級泵。由于爪式泵沿軸向逆流少，故壓縮比在高壓區較高。這種泵的吸、排氣口設置在泵腔的端壁上，多級連接很方便，氣道流暢，泵內腔壓力變換平緩，有利于防止可凝性氣體的凝結。為了防止可凝性氣體在泵內凝結，也要向泵腔內通凈化氣體。現在的爪式泵極限壓力為1-10pa，抽速為100-180m3/h，有系列產品出售。爪式泵也有單級、多級泵出售。

上海帕特泵業制造有限公司

2012年4月23日星期一

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